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干燥机 [1] 是指一种利用热能降低物料水分的机械设备,用于对物体进行干燥操作。干燥机通过加热使物料中的湿分(一般指水分或其他可挥发性液体成分)汽化逸出,以获得规定湿含量的固体物料。干燥的目的是为了物料使用或进一步的需要。按操作压力,干燥机分为常压干燥机和真空干燥机两类,根据操作压力可分为常压和减压(减压干燥机也称真空干燥机)。词条还详细介绍了吸附式干燥机、冷冻式干燥机和微波干燥机。
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响,有甚者用于某一工序的工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物,而园片加工工序当前已多于3多个独立工序,对AMC控制指标的确定是复杂。IC生产对AMC的控制,对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求,对污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm~1pptm间。
真空干燥机电话议价压缩空气中水蒸气的量是由压缩空气的温度决定的:在保持压缩空气压力基本不变的情况下,降低压缩空气的温度可减少压缩空气中的水蒸气含量,而多余的水蒸气会凝结成液体。冷冻干燥机是利用这一原理采用制冷干燥压缩空气的。因此冷干机具有制冷系统。冷冻干燥机的制冷系统属于压缩式制冷,由制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、膨胀阀等四个基本部件组成。它们之间用管道依次连接,形成一个密闭的系统,制冷剂在系统中不断地循环流动,发生状态变化并与压缩空气和冷却介质进行热量交换。压缩空气干燥机还有吸附式干燥机和溶解式干燥机。
严禁突然开启或关闭。沥青流量计在使用时,应使表内流满液体。被测液体内不应混有气体,否则测出气和液的混合容积,使测量不准,液体内混有气体时,必须在仪表上游安装气体分离器。管道中的流量不应急剧增加或减少,应避免管道振动、水力冲击和压力急剧波动等现象,否则将影响仪表正常工作。由于测量高粘度液体时,一般均将液体加热以降低粘度,然后在管道内流通。当仪表停用后,仪表内充满的液体因冷却而变粘,如再要启用,必须用蒸汽或其他方法在表体外部加热,从而降低液体的粘度,待仪表内液体粘度降低后才能使用。
真空干燥机电话议价制冷压缩机将蒸发器内的低压(低温)制冷剂吸入压缩机汽缸内,制冷剂蒸汽经过压缩,压力、温度同时升高;高压高温的制冷剂蒸汽被压冷凝器,在冷凝器内,温度较高的制冷剂蒸汽与温度比较低的冷却水或空气进行热交换,制冷剂的热量被水或空气带走而冷凝下来,制冷剂蒸汽变成了液体。这部分液体再被输送膨胀阀,经过膨胀阀节流成了低温低压的液体并进入蒸发器;在蒸发器内低温、低压的制冷剂液体吸收压缩空气的热量而汽化(俗称“蒸发"),而压缩空气得到冷却后凝结出大量的液体水;蒸发器中的制冷剂蒸汽又被压缩机吸走,这样制冷剂便在系统中经过压缩、冷凝、节流、蒸发这样四个过程,从而完成了一个循环。
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